什么是驻波效应

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 22:39:41
什么是驻波效应

什么是驻波效应
什么是驻波效应

什么是驻波效应
微电子制造工艺中的一种现象.
在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波.