以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/11 18:07:34
以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?

以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?
以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?

以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?
CZ是直拉法,就是首先把多晶硅置于坩埚内加热熔化,然后采用小的结晶“种子”——籽晶,再慢慢向上提升、结晶,获得大的单晶锭.
FZ是水平区域熔化生长法,就是水平放置、采用感应线圈加热、并进行晶体生长的技术.